在線真空等離子清洗系統

在線真空等離子清洗系統

  • 產品編號:TS-VPL系列(定制)
  • 產品規格: 在線真空等離子清洗系統
  • 產品用途:

    有機污染物去除,表面活化

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產品介紹

在線式真空等離子清洗系統自動搬運物料的設計要求,與常規等離子清洗系統相比,降低了人工搬運過成,提高了設備自動化水平。

在線真空等離子清洗系統介紹:

在線真空等離子清洗系統如上圖所示,將腔體與加速極連在一起,形成一個密封空間。產品從進口閥門傳輸進入腔體后,關閉進口閘閥,直至等離子清洗處理完成后,打開出口閘閥送出產品到下一道工序。首先對真空腔抽真空,當真空度達到0.01mbr以下,向真空室內充入幾mbr的反應氣體,使真空腔壓力保持在1mbr左右。最佳參數的設置根據真空檢測規數據反饋到節流閥控制器,由控制器控制節流閥閥門大小,進而控制真空泵抽氣量,維持壓力的動態平衡。接通射頻電源引發輝光放電產生等離子體,在真空腔體內形成大量均勻的等離子體,等離子體頻繁碰撞產品表面使產品被清洗干凈。

等離子表面處理原理介紹:

在等離子體中除了氣體分子,離子和電子外,還存在受到能量激勵的處于激發狀態的電中性的原子或原子團(又稱自由基),以及等離子體發射出的光線。其中的波長短,能量搞得紫外光在等離子體與物質表面相互作用有著重要的作用。下面對它門 的作用分別進行介紹。

原子團等自由基與物體表面的反應

由于這些自由基呈電中性,存在壽命較長,而且在等離子體中的數量多于離子,因此自由基在等離子體中發揮著重要的作用。自由基的作用主要表現在化學反應過程中的能量傳遞的“活化”作用,處于激發狀態的自由基具有較高的能量,因此易于與物體表面分子結合時會形成新的自由基,新形成的自由基同樣處于不穩定的高能量狀態,很可能發生分解反應,在變成較小分子的同時生成新的自由基,這種反應過程還可能繼續進行下去,最后分解成水,二氧化碳之類的簡單分子,在另一些情況下,自由基與物體表面分子結合的同時,回釋放出大量的結合能,這種能量又成為引發新的表面反應的推動力,從而引發物體表面上的物質發生化學反應而被去除。

電子與物體表面的作用

一方面對物體表面的撞擊作用,可促使吸附在物體表面的氣體分子發生分解或吸附,另一方面大量的電子撞擊有利引發化學反應。由于電子質量極小,因此比離子的移動速度要快得多。當進行等離子體處理時,電子要比離子更早到達物體表面,并使表面帶有負電荷,這有利于引發進一步反應。

離子與物體表面的作用

通常指的是帶正電荷的陽離子的作用,陽離子有加速沖向帶負電荷的表面的傾向,此時物體表面獲得相當大的動能,足以撞擊去除掉表面上附著的顆粒性物質,我們把這種現象稱為濺射現象。而通過離子的沖擊作用可以極大促進物體表面化學反應發生的幾率。

紫外線與物體表面的反應

紫外線具有很強的光能,(h)可使附著在物體表面的物質的分子鍵發生斷裂而分解,而且紫外線具有很強的穿透能力,可透過物體的表層并深入達數微米而產生作用。

綜上所述,可知在線真空等離子清洗系統是利用等離子體內的各種具有高能量的物質的活化作用,將吸附在物體表面的污垢徹底剝離去除。

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